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中芯紹興特種晶圓工藝生產線項目2#第五批——晶圓清洗機國際招標公告(2)

發布時間:2019-04-19

上海機電設備招標有限公司受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標,于2019-04-19在中國國際招標網公告。本次招標采用傳統招標方式,現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:中芯集成電路制造(紹興)有限公司計劃為中芯紹興特種晶圓工藝生產線項目購買一批工藝生產設備
資金到位或資金來源落實情況:資金已到位
項目已具備招標條件的說明:項目已具備招標條件
2、招標內容
招標項目編號:0613-194022151222/10
招標項目名稱:中芯紹興特種晶圓工藝生產線項目2#第五批——晶圓清洗機
項目實施地點:中國浙江省
招標產品列表(主要設備):
序號 產品名稱 數量 簡要技術規格備注
1 聚焦離子束FIB 1臺 電子束分辨率0.8nm (15keV),能量20eV~30keV,離子束分辨率2.5nm (30keV), 五軸樣品臺, 無油真空系統, XYZR全自動納米機械手, FIB 自動操作, SE/BSE/DBS/STEM探測器
2 自動微裂片系統 1臺 誤差0.3um以內, 自動操作, 激光定位, 液氮噴布系統, 量測功能
3 電子顯微鏡及能譜SEM/EDS 1臺 冷場發射,物理放大倍率達到至少80萬倍,分辨率達到1nm,電子束能量范圍0.5?-?30keV(步進精度0.1keV),免加液氮能譜
4 擴展電阻測試儀SRP 1臺 測試范圍100Ω-1011Ω,校準誤差≤12%(p-type),10% (n-type), 重現性≤±12%, 提供p型n型校準用標準樣品
5 高真空離子鍍膜金屬濺射機 1臺 實現片內高均勻性的金屬薄膜沉積高真空離子鍍膜金屬濺射機/(Metal Dep Al PVD)
6 晶圓表面顆粒檢測機 3臺 非圖形晶圓表面的缺陷類型及空間分布,污染顆粒和異常微觀表面分類/ Defect types and spatial distributions on the surface of non-graphics wafers, contamination particles and abnormal microscopic surface classification
7 晶圓測試探針機 2臺 同時滿足高精度和高效率的8英寸探針臺/Most significant machine model for 200mm wafers High precision, high rigidity machine.
8 等離子體聚合物刻蝕機 1臺 Bosch polymer低溫快速去除,無殘留(≦4 minutes @ 180 deg C, or ≦ 7 minutes @ 150 deg C) 無形貌變化和側壁損傷 CD loss <5%
9 滾筒晶圓清洗機 2臺 1.實現55納米級別清洗 2.使用化學品對光阻進行去除以達到需要的要求
10 晶圓清洗機 3臺 1 晶圓清洗機/W.S. F/E PR Stripper 1臺/1 set 1.實現55納米級別清洗 2.使用化學品對晶圓表面進行清洗以達到需要的要求 2 晶圓清洗機/W.S. Nitride strip 1臺/1 set 1.實現55納米級別清洗 2.使用化學品對氮化硅進行刻蝕以達到需要的厚度和均勻性 3 晶圓清洗機/W.S. F/E PR Stripper 1臺/1 set 1.實現55納米級別清洗 2.使用化學品對光阻進行去除以達到需要的厚度和均勻性
11 PR工藝凃布顯影、光刻顯影設備 2臺 1 PR工藝凃布顯影/Polyimide Coater 1臺/1 set 實現光刻涂膠 2 光刻顯影設備/Deeveloper 1臺/1 set 實現光刻顯影
12 I-line 涂布顯影設備 2臺 1 I-line 涂布顯影設備/I-line Track 1臺/1set For i-line stepper(4C8D) 2 I-line 涂布顯影設備/DUV Scanner_Track 1臺/1set For KrF scanner(6C12D)
13 低應力氮化硅生長爐 1臺 實現氮化硅生長,均勻性好,應力小

3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:1)具有獨立的法人資格,相應的經營范圍。投標方應具有正規注冊的辦事處、維修站及零備件保稅庫。在中國境內應有專門負責的經驗豐富的維修工程師和專門的技術應用支持工程師。 2)投標人提供的設備需要在業界有安裝使用的經驗 。
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2019-04-19
招標文件領購結束時間:2019-04-26
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現場領購
招標文件領購地點:上海市長壽路285號恒達大廈16樓上海機電設備招標有限公司
招標文件售價:¥500/$80
5、投標文件的遞交
投標截止時間(開標時間):2019-05-10 09:30
投標文件送達地點:上海市長壽路285號恒達廣場22樓
開標地點:上海市長壽路285號恒達廣場22樓
6、投標人在投標前應在必聯網(http://www.ebnew.com)或機電產品招標投標電子交易平臺(http://www.wsarq.icu)完成注冊及信息核驗。評標結果將在必聯網和中國國際招標網公示。
7、聯系方式
招標人:中芯集成電路制造(紹興)有限公司
地址:中國浙江省紹興市越城區皋埠鎮臨江路518號
聯系人:韓倩倩
聯系方式:+86-21-38125300-10291
招標代理機構:上海機電設備招標有限公司
地址:上海市長壽路285號
聯系人:王鼎 王晟
聯系方式:021-32557721 32557916
8、匯款方式:
招標代理機構開戶銀行(人民幣):
招標代理機構開戶銀行(美元):
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